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Uma bombas de difusão usa um jato de vapor de alta velocidade para direcionar moléculas de gás na garganta da bomba para baixo e para fora pelo exaustor. Apresentada em 1915 por Wolfgang Gaede e usando vapor de mercúrio, foi o primeiro tipo de bomba de alto vácuo operando no regime de , onde o movimento das moléculas do gás podem ser melhor entendidos como difusão que uma dinâmica de fluidos convencional. Gaede usou o nome bomba de difusão devido a seu projeto ser baseado na constatação de que o gás não pode difundir-se contra a corrente de vapor, mas o fará com ela para a exaustão. Entretanto, o princípio de operação pode ser mais precisamente descrito como bomba de jato de gás, dado que a difusão desempenha um papel também em outras bombas de alto vácuo. Em livros textos modernos, a bomba de difusão é categorizada como uma bomba de transferência de momento. A bomba de difusão é largamente usada tanto em aplicações industriais como em pesquisa. Bombas de difusão mais modernas usam como fluido de trabalho. Cecil Reginald Burch descobriu a possibilidade de usar-se óleo de silicone em 1928.
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