Rotationsbeschichtung
Sign in to saveLackierverfahren mit rotierendem Werkstück
Wikidata facts
- Subclass of
- coating
- Image
- Spinner.jpg
Show 1 more fact
- Commons category
- Spin coating
Sources (2)
via Wikidata · CC0
Article · Deutsch
Die Rotationsbeschichtung (engl. spin coating, auch spin-on) ist in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik ein Verfahren zum Auftragen dünner und gleichmäßiger Schichten bzw. Filme auf einem Substrat. Zum Aufschleudern eignen sich alle in Lösung vorliegenden Materialien, wie z. B. der bei der Fotolithografie verwendete Fotolack (engl.: resist).
Abstract from DBpedia / Wikipedia · CC BY-SA